เป้าหมายสปัตเตอร์โลหะผสมนิกเกิล-คือวัสดุเคลือบสปัตเตอร์ที่ทำจากนิกเกิล (Ni) และโบรอน (B) เป็นหลักโดยผ่านกระบวนการทำให้มีความบริสุทธิ์สูง- มักใช้ในสารกึ่งตัวนำ ฟิล์มบางที่ใช้แสง และเซลล์แสงอาทิตย์ ฟิล์มบางเชิงฟังก์ชันโบรอน-ถูกสะสมอยู่บนพื้นผิวของสารตั้งต้นโดยใช้เทคนิคการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) เช่น การสปัตเตอร์แมกนีตรอน
วิธีการเตรียมเป้าหมายสปัตเตอร์โลหะผสมนิกเกิล-
การเตรียมวัตถุดิบ: เลือกผงนิกเกิลที่มีความบริสุทธิ์สูง-และผงโบรอนที่มีความบริสุทธิ์สูง-เป็นวัตถุดิบ
การขึ้นรูป: โดยทั่วไปจะใช้การกดแบบไอโซสแตติกแบบเย็น ผงจะถูกเติมลงในแม่พิมพ์ยืดหยุ่น (เช่น แม่พิมพ์ยาง) และปิดผนึก จากนั้น วางลงในภาชนะแรงดันสูง- และใช้แรงดันสูงแบบไอโซโทรปิก (เช่น 200-400 MPa) ผ่านตัวกลางที่เป็นของเหลว (น้ำมันหรือน้ำ) เพื่อกดลงใน "ช่องว่างสีเขียว" ที่มีความแข็งแกร่งระดับหนึ่ง
การเผาผนึก: ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ อุณหภูมิสูง (โดยปกติจะต่ำกว่าจุดหลอมเหลวของนิกเกิล ประมาณ 1,000-1200 องศา ) และความดันทิศทางเดียวจะถูกนำไปใช้กับช่องว่างพร้อมกันเพื่อให้ได้โลหะผสมที่มีความหนาแน่นสูง
การประมวลผลภายหลัง: การใช้เครื่องกลึง เครื่องกัด เครื่องเจียร ฯลฯ ช่องว่างซินเทอร์จะถูกประมวลผลอย่างแม่นยำจนถึงขนาดสุดท้ายที่ลูกค้าต้องการ
การใช้งานเป้าหมายสปัตเตอร์โลหะผสมนิกเกิล-โบรอน
การเคลือบป้องกันพื้นผิว: การสะสมฟิล์มบางของนิกเกิล-โบรอนบนพื้นผิวของชิ้นส่วนที่สึกหรอง่าย เช่น แบริ่ง เกียร์ แม่พิมพ์ และเครื่องมือตัดสามารถยืดอายุการใช้งานได้อย่างมาก
อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์: ด้วยการใช้ค่าความต้านทานที่ปรับได้ จึงสามารถใช้ในการผลิตตัวต้านทานแบบฟิล์มบางที่มีความแม่นยำสูง -และมีความเสถียรสูง-ได้
อุตสาหกรรมเลนส์: เนื่องจากมีคุณสมบัติหนาแน่นและมีเสถียรภาพ บางครั้งจึงใช้เป็นสารเคลือบป้องกันสำหรับเลนส์สายตาบางชนิด
