เป้าหมายสปัตเตอร์โลหะผสมนิกเกิลโมลิบดีนัมเป็นเป้าหมายโลหะผสมที่ทำจากโมลิบดีนัมและนิกเกิล และมีคุณสมบัติเชิงบวกมากมาย และสามารถทำในมิติต่าง ๆ เพื่อให้สามารถเคลือบสปัตเตอร์ในหลายอุตสาหกรรม เป้าหมายโลหะผสมโมลิบดีนัมนิกเกิล-คือวัสดุที่ถูกระดมยิงในสุญญากาศสูงโดยใช้วิธีการสะสมไอทางกายภาพ (โดยส่วนใหญ่เป็นการสปัตเตอร์แมกนีตรอน) โดยที่อะตอมหรือโมเลกุลจะเกิดการสปัตเตอร์และเกาะอยู่บนพื้นผิว (เช่น แก้ว เวเฟอร์ซิลิคอน หรือพลาสติก) ทำให้เกิดเป็นการเคลือบโลหะผสมโมลิบดีนัม-นิกเกิลที่บางและสม่ำเสมอ โมลิบดีนัม-โลหะผสมนิกเกิลแสดงความต้านทานที่ดีต่อการกัดกร่อนในสภาพแวดล้อมทางเคมีที่หลากหลาย ซึ่งช่วยให้ฟิล์มที่สะสมอยู่มีอายุการใช้งานยาวนานและมีเสถียรภาพภายใต้สภาพการทำงานที่แตกต่างกัน และยังมีประสิทธิภาพน้อยลง-การย่อยสลายที่สร้างความเสียหายเนื่องจากการกัดกร่อน ในช่วงหนึ่ง คุณสมบัติทางกายภาพของโลหะผสม รวมถึงความแข็ง ความต้านทาน ฯลฯ สามารถเปลี่ยนแปลงได้เพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะในการลองใช้ เพื่อให้สามารถปรับคุณสมบัติของฟิล์มสปัตเตอร์ได้อย่างละเอียด-ในเงื่อนไขการใช้งานต่างๆ
เทคโนโลยีการเตรียมเป้าหมายโลหะผสมนิกเกิลโมลิบดีนัม
การเตรียมวัตถุดิบ: เลือกผงนิกเกิลที่มีความบริสุทธิ์สูง- (ความบริสุทธิ์มากกว่าหรือเท่ากับ 99.95%) และผงโมลิบดีนัม (ความบริสุทธิ์มากกว่าหรือเท่ากับ 99.95%) และวัดน้ำหนักอย่างระมัดระวังสำหรับองค์ประกอบโลหะผสมเป้าหมาย (เช่น Ni-10Mo, Ni-20Mo เป็นต้น)
การสร้างรูปร่าง: วิธีที่นิยมใช้คือการกดแบบไอโซสแตติกแบบเย็น ผงผสมจะถูกวางในแม่พิมพ์ยืดหยุ่นและกดในช่วง 150-200MPa เพื่อให้ได้ช่องว่างสีเขียวตามความแข็งแรงที่ต้องการ ช่องว่างสีเขียวถูกวางไว้ในเตาเผาสุญญากาศหรือไฮโดรเจน- และผ่านการเผาล่วงหน้าในช่วง 1000-1200 องศา โดยมีวัตถุประสงค์เพื่อกำจัดก๊าซที่ตกค้างในช่องว่างของผง ก่อตัวเป็นเฟสของโลหะผสม และปรับปรุงความหนาแน่นของช่องว่างสีเขียว
การกด Sintering แบบร้อน: การเผาผนึกภายใต้สุญญากาศเป็นเวลา 2-4 ชั่วโมงที่ความดัน 30-50MPa และที่อุณหภูมิ 1200-1400 องศา แรงดันสูงที่อุณหภูมิสูงช่วยให้อนุภาคเกาะติดกันได้ง่ายขึ้น และจำเป็นสำหรับกระบวนการนี้ในเวลานี้
การตัดเฉือน: แผ่นเผาผนึกจะถูกตัดเฉือนตามขนาดและรูปร่างที่แม่นยำที่ลูกค้าต้องการ และรับประกันว่าพื้นผิวการเชื่อมด้วยแผ่นด้านหลังจะมีความเรียบและเรียบเนียนสูงมาก
การใช้นิกเกิล-เป้าหมายสปัตเตอร์โลหะผสมโมลิบดีนัม
เซลล์แสงอาทิตย์แบบฟิล์มบาง-: ใช้เป็นหน้าสัมผัสด้านหลังในเซลล์แสงอาทิตย์แบบฟิล์มบาง- เช่น CIGS (copper indium gallium selenide)
ภาคเซมิคอนดักเตอร์: ใช้เป็นชั้นกั้นการแพร่กระจายเพื่อกำจัด (และป้องกัน) การแพร่กระจายของชั้นโลหะต่างๆ (เช่น การสร้างความเสียหายให้กับซิลิไซด์และการลัดวงจรในการเชื่อมต่อระหว่างกันของทองแดงและพื้นผิวซิลิกอน)
การเคลือบตกแต่งและการป้องกัน: ต้านทานการสึกหรอและการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ฟิล์มโลหะผสมโมลิบดีนัมนิกเกิล-สามารถสะสมบนพื้นผิวของวัตถุต่างๆ เช่น นาฬิกา แว่นตา อุปกรณ์ในห้องน้ำ ชิ้นส่วนยานยนต์ ฯลฯ ดังนั้น ฟิล์มเหล่านี้จึงได้รับการปกป้องและยังได้รับความแวววาวของโลหะและรูปลักษณ์ที่แวววาวและน่าพึงพอใจอีกด้วย
การเคลือบเพื่อต้านทานการกัดกร่อน: ให้การป้องกันการกัดกร่อนและการสึกหรอของสารเคมีสำหรับส่วนประกอบที่ละเอียดอ่อนในงานวิศวกรรมเคมีและทางทะเล รวมถึงในอุปกรณ์ทางการแพทย์
