เป้าหมายโลหะผสมไนโอเบียมนิกเกิล-คือเป้าหมายการสปัตเตอร์ที่เกิดจากการหลอมนิกเกิล (Ni) และไนโอเบียม (Nb) เป็นองค์ประกอบหลักในสัดส่วนที่แน่นอน ส่วนใหญ่จะใช้ในกระบวนการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) โดยเฉพาะอย่างยิ่งแมกนีตรอนสปัตเตอร์เพื่อเตรียมฟิล์มบางที่ใช้งานได้บนพื้นผิวต่างๆ
วิธีการเตรียมเป้าหมายโลหะผสมนิกเกิล-ไนโอเบียม
1. การเตรียมวัตถุดิบ: เลือกผงนิกเกิลและไนโอเบียมที่มีความบริสุทธิ์สูง-เป็นวัตถุดิบ เพื่อให้แน่ใจว่าความบริสุทธิ์จะตรงตามข้อกำหนดในการเตรียมเป้าหมาย ตัวอย่างเช่น ความบริสุทธิ์ของผงนิกเกิลและไนโอเบียมแต่ละชนิดสามารถเข้าถึงได้มากกว่า 99.9%
2. การผสมผง: ชั่งน้ำหนักผงนิกเกิลและไนโอเบียมอย่างแม่นยำตามอัตราส่วนองค์ประกอบของโลหะผสมที่ออกแบบไว้ และผสมให้เข้ากันในอุปกรณ์ผสม เพื่อให้แน่ใจถึงการผสมที่สม่ำเสมอ สามารถใช้การกัดลูกบอลได้ โดยควบคุมเวลาการกัดและอัตราส่วน-ต่อ{3}}วัสดุที่เหมาะสมของลูกบอล
3. การกด: ผงที่ผสมสม่ำเสมอจะถูกวางลงในแม่พิมพ์และกดโดยใช้การกดแบบไอโซสแตติกแบบเย็น (CIP) หรือการกดแบบไอโซสแตติกแบบร้อน (HIP) เพื่อสร้างชิ้นงานที่ว่างเปล่าด้วยความหนาแน่นและความแข็งแรงระดับหนึ่ง การกดไอโซสแตติกเย็น (CIP) ช่วยให้สามารถบดอัดผงเริ่มต้นที่ความดันค่อนข้างต่ำ ในขณะที่ HIP จะเพิ่มความหนาแน่นของชิ้นงานเปล่าที่อุณหภูมิสูงและความดันสูงอีก
4. การเผาผนึก: เป้าหมายที่ถูกกดจะถูกเผาในเตาสุญญากาศเพื่อกำจัดรูขุมขนระหว่างอนุภาคผงและปรับปรุงความหนาแน่นและประสิทธิภาพของชิ้นงาน อุณหภูมิและเวลาในการเผาผนึกเป็นตัวแปรสำคัญ โดยทั่วไปอุณหภูมิการเผาผนึกจะอยู่ในช่วงตั้งแต่ 1,000 องศาถึง 1,500 องศา และเวลาในการเผาผนึกมีตั้งแต่ไม่กี่ชั่วโมงไปจนถึงหลายสิบชั่วโมง การเพิ่มประสิทธิภาพขึ้นอยู่กับองค์ประกอบและขนาดของเป้าหมาย
5. การตัดเฉือน: หลังจากการเผาผนึก เป้าหมายจะต้องมีการตัดเฉือน เช่น การกลึงและการเจียร เพื่อให้ได้ขนาดและผิวสำเร็จที่ต้องการ
การใช้เป้าหมายโลหะผสมไนเบียมนิกเกิล-
เซมิคอนดักเตอร์: สามารถใช้สำหรับการสปัตเตอร์เพื่อสร้างชั้นกั้น อิเล็กโทรด และการเชื่อมต่อระหว่างกัน ฟิล์มบางโลหะผสมนิกเกิล-ป้องกันการแพร่กระจายของอะตอมของโลหะได้อย่างมีประสิทธิภาพ ปรับปรุงประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ และมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการผลิตวงจรรวม
เทคโนโลยีการแสดงผล: ในจอแสดงผลแบบแบน- เช่น OLED และจอแสดงผลคริสตัลเหลว เป้าหมายโลหะผสมนิกเกิล- สามารถใช้เพื่อสร้างอิเล็กโทรดหรือชั้นสะท้อนแสง ซึ่งช่วยปรับปรุงความสว่างของหน้าจอ ความเร็วการตอบสนอง และความเสถียรของสี
การเคลือบด้วยแสง: สามารถใช้เพื่อสร้างการเคลือบด้วยแสงต่างๆ เช่น ฟิล์มสะท้อนแสงอินฟราเรดและฟิล์มต้านทานความเสียหายจากเลเซอร์- สำหรับการใช้งานในอุปกรณ์ออพติคัลที่มีความแม่นยำ ระบบเลเซอร์ และอุปกรณ์เกี่ยวกับแสงเพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพออพติคอลที่หลากหลาย
การเคลือบที่ต้านทานการสึกหรอ-และการกัดกร่อน-: เนื่องจากความต้านทานการสึกหรอและการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยม เป้าหมายโลหะผสมนิเบียม-จึงสามารถนำมาใช้เพื่อสร้างฟิล์มบางที่ทนทานต่อการสึกหรอ-และการกัดกร่อน-บนชิ้นส่วนเครื่องจักรกลและพื้นผิวเครื่องมือ ซึ่งช่วยยืดอายุการใช้งานและประสิทธิภาพของส่วนประกอบ มีแนวโน้มการใช้งานที่กว้างขวางในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น การบินและอวกาศ การผลิตยานยนต์ และการตัดเฉือน
