เป้าหมายสปัตเตอร์ของโลหะผสมนิกเกิล-โคบอลต์-เหล็กมีสัดส่วนเฉพาะของนิกเกิล (Ni) โคบอลต์ (Co) และเหล็ก (Fe) โลหะผสมเหล่านี้ผลิตขึ้นเป็นเป้าหมายสปัตเตอร์แบบระนาบหรือแบบหมุน และใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เซลล์แสงอาทิตย์ ออปติกที่มีความแม่นยำ และการเคลือบเชิงฟังก์ชัน การเตรียมโลหะผสมเหล่านี้มีความเฉพาะเจาะจงและต้องใส่ใจในรายละเอียดเพื่อให้ได้องค์ประกอบทางเคมีที่สม่ำเสมอ ความหนาแน่นของสถานะของแข็ง- เม็ดที่สม่ำเสมอ และคุณภาพของพื้นผิว
วิธีการเตรียมเป้าหมายการสปัตเตอร์โลหะผสมนิกเกิล-โคบอลต์-
การหลอมวัตถุดิบ: บล็อกนิกเกิล โคบอลต์ และเหล็กที่มีความบริสุทธิ์สูงจะถูกจัดสัดส่วนและวางลงในเตาหลอมเหนี่ยวนำสุญญากาศ วัสดุจะถูกให้ความร้อนภายใต้สุญญากาศจนกระทั่งวัสดุทั้งหมดหลอมเหลวและคนให้เข้ากันเพื่อป้องกันการแยกส่วน
การหล่อและการขึ้นรูป: โลหะผสมเหล็กนิกเกิลโคบอลต์หลอมเหลวจะถูกเทลงในแม่พิมพ์กราไฟท์และดับเพื่อให้ได้แท่งโลหะผสมและป้องกันการก่อตัวของเมล็ดหยาบ
การตีและการรีด: โลหะผสมจะต้องผ่านกระบวนการตีขึ้นรูปที่อุณหภูมิสูงและกระบวนการรีดร้อน-เพื่อทำลายโครงสร้างการหล่อ
การตัดเฉือนและการติด: เลื่อยวัสดุโลหะผสมนิกเกิล-โคบอลต์-เหล็ก-ให้เป็นรูปร่างและสังเคราะห์
การใช้เป้าหมายสปัตเตอร์โลหะผสมนิกเกิล-โคบอลต์-
วงจรรวม ซึ่งใช้สำหรับชั้นกั้นการแพร่กระจายของ Cu, อิเล็กโทรดสองชั้นของ Ta/CoFe และชั้นอิสระของจุดเชื่อมต่ออุโมงค์แม่เหล็ก (MTJ)
เซลล์แสงอาทิตย์แบบฟิล์มบาง- ซึ่งทำหน้าที่เป็นอิเล็กโทรดด้านหลังหรือชั้นบัฟเฟอร์เพื่อเพิ่มการสัมผัสแบบโอห์มมิกและความทนทานต่อสภาพอากาศ
MEMS และเซ็นเซอร์ที่ใช้ในการผลิตตัวเหนี่ยวนำการสูญเสียต่ำ- ชั้นป้องกันแม่เหล็ก และแอคชูเอเตอร์แม่เหล็กขนาดเล็ก-
สารเคลือบเพื่อการใช้งานบนพื้นผิวซึ่งใช้เป็นสารเคลือบ-ต้านทานการสึกหรอ การกัดกร่อน- และการตกแต่งสำหรับชิ้นส่วนยานยนต์ อุปกรณ์ยึดสำหรับการบินและอวกาศ และการปลูกถ่ายทางชีวการแพทย์
