Invar Alloy: การขับขี่นวัตกรรมในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ในฐานะที่เป็นกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ยังคงก้าวไปสู่โหนดที่ละเอียดกว่าอัลลอยอินทราส (หรือที่รู้จักกันในชื่อ Invar) แสดงให้เห็นถึงมูลค่าแอปพลิเคชันนวัตกรรมที่ไม่เคยเกิดขึ้นมาก่อนในสาขาการผลิตชิป ด้วยความเสถียรทางความร้อนที่เป็นเอกลักษณ์และคุณสมบัติเชิงกลอัลลอย Invar จึงกลายเป็นหนึ่งในวัสดุสำคัญที่สนับสนุนกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง
เทคโนโลยีการตรวจสอบของเวเฟอร์ยังได้รับประโยชน์จากการประยุกต์ใช้โลหะผสม Invar ผู้ผลิตอุปกรณ์การวัดชั้นนำของอุตสาหกรรมได้พัฒนาแพลตฟอร์มการตรวจสอบโดยใช้อัลลอยอินฟาเรย์การขยายตัวต่ำเป็นพิเศษ (4J36) ซึ่งมีความเสถียรทางความร้อนสูงกว่าวัสดุดั้งเดิมมากกว่าห้าเท่า ในระหว่างการตรวจสอบที่ครอบคลุมของ 3 0 เวเฟอร์ 0 มม. แพลตฟอร์มเหล่านี้สามารถลดข้อผิดพลาดในการวัดที่เกิดจากความผันผวนของอุณหภูมิต่ำกว่า 0.1nm เพิ่มความสามารถในการควบคุมกระบวนการอย่างมีนัยสำคัญ
ในกระบวนการสะสมแบบฟิล์มบางอัลลอยด์ได้แสดงให้เห็นถึงข้อได้เปรียบที่เป็นเอกลักษณ์ อุปกรณ์การสะสมไอทางกายภาพล่าสุด (PVD) ใช้ส่วนประกอบห้องสุญญากาศของอัลลอยอัลลอยด์ซึ่งไม่เพียง แต่บรรลุประสิทธิภาพการปิดผนึกสูญญากาศที่ดีขึ้น แต่ยังขยายวงจรการบำรุงรักษาอุปกรณ์ 30% เนื่องจากความต้านทานอุณหภูมิสูง โครงสร้างการสนับสนุนห้องปฏิกิริยาของอุปกรณ์การสะสมไอสารเคมี (CVD) ยังใช้โลหะผสมคงที่มากขึ้นเรื่อย ๆ ลดปัญหาการเสียรูปความร้อนในกระบวนการอุณหภูมิสูงอย่างมีประสิทธิภาพ
ผู้เชี่ยวชาญในอุตสาหกรรมกล่าวว่าแอปพลิเคชั่นที่เป็นนวัตกรรมของโลหะผสม Invar ในสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เริ่มขึ้นเท่านั้น ในขณะที่กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ยังคงพัฒนาอย่างต่อเนื่องวัสดุการทำงานที่มีความมั่นคงพิเศษจะมีบทบาทที่ไม่สามารถถูกแทนที่ได้ในขั้นตอนกระบวนการที่สำคัญยิ่งขึ้นซึ่งให้การสนับสนุนที่แข็งแกร่งสำหรับความก้าวหน้าของเทคโนโลยีการผลิตชิป
