เป้าการสปัตเตอร์อลูมิเนียมและทองแดง (AlCu)

เป้าการสปัตเตอร์อลูมิเนียมและทองแดงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุตสาหกรรมและการใช้งานหลายประเภท เนื่องจากมีความแข็งสูง ทนต่อแรงดึง และมีน้ำหนักเบา โดยปกติจะมีปริมาณทองแดง 1-3% และมีคุณสมบัติทางเคมีคล้ายกับอลูมิเนียม

ส่งคำถาม

คำอธิบายสินค้า

เป้าการสปัตเตอร์โลหะผสมอลูมิเนียมและทองแดงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุตสาหกรรมและการใช้งานหลายประเภท เนื่องจากมีความแข็งสูง ทนต่อแรงดึง และมีน้ำหนักเบา โดยทั่วไปจะมีปริมาณทองแดง 1-3% และมีคุณสมบัติทางเคมีคล้ายกับอลูมิเนียม AlCu มีคุณสมบัติเชิงกลสูง สามารถกลึงได้ดี และเหมาะกับอุณหภูมิสูง จึงอาจเป็นวัสดุที่เหมาะสมสำหรับโลหะผสมอลูมิเนียมประสิทธิภาพสูง เป้าการสปัตเตอร์โลหะผสมอลูมิเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงสามารถใช้ในอุตสาหกรรมต่างๆ ได้หลากหลาย ตั้งแต่เซมิคอนดักเตอร์และส่วนประกอบฟังก์ชันอิเล็กทรอนิกส์ ด้วยความบริสุทธิ์สูง 5N ขนาดเกรนที่สม่ำเสมอ ปริมาณออกซิเจนที่ต่ำ ผู้ใช้ปลายทางจึงสามารถรับอัตราการกัดเซาะที่คงที่ ตลอดจนความบริสุทธิ์สูงและการเคลือบฟิล์มบางที่เป็นเนื้อเดียวกันระหว่างกระบวนการ PVD

ในการผลิตวงจรรวม มักเกิดปรากฏการณ์การแพร่กระจายของซิลิกอนเข้าไปในชั้นเชื่อมต่ออลูมิเนียม หากเติมซิลิกอนเข้มข้นที่อิ่มตัวลงในอลูมิเนียมเพื่อสร้างโลหะผสมอลูมิเนียมซิลิกอน ปัญหาดังกล่าวจะได้รับการแก้ไขอย่างมีประสิทธิภาพ ดังนั้น เราจึงผลิตเป้าการสปัตเตอร์อะลูมิเนียมซิลิกอน AlSi และเป้าการสปัตเตอร์อะลูมิเนียมซิลิกอนทองแดง AlSiCu สำหรับการใช้งาน IC

หมวดหมู่	เป้าสปัตเตอร์โลหะผสม
สูตรเคมี	อัลคู
องค์ประกอบ	อลูมิเนียมทองแดง
ความบริสุทธิ์	99.9%,99.95%,99.99%
รูปร่าง	แผ่น,เป้าเสา,แคโทดอาร์ค,สั่งทำพิเศษ
กระบวนการผลิต	การหลอมสูญญากาศ, PM
ขนาดที่มี	L น้อยกว่าหรือเท่ากับ 200 มม. W น้อยกว่าหรือเท่ากับ 200 มม.